流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?

质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。
用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。
采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
对于三氯化硼等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的MFC。
如果不特殊声明， MFC都采用氟橡胶密封，热式气体质量流量控制器公司， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于卤族干燥气体。
其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。
氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;  三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。

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流量控制器分类

热式质量流量器根据热源及测温方式的不同可分为接触式和非接触式两种。

1．接触式热式质量流量器这种质量流量计的加热元件和测温元件都置于被测流体的管道内，与流体直接接触，常被称为托马斯流量计，热式气体质量流量控制器哪家好，适于测量气体的较大质量流量. 由于加热及测量元件与被测流体直接接触，热式气体质量流量控制器，因此元件易受流体腐蚀和磨损，影响仪表的测量灵敏度和使用寿命。
测量高流速、有腐蚀性的流体时不宜选用，这是接触式的缺点。

2．非接触式热式质量流量器这种流量计的加热及测温元件都置于流体管道外，与被测流体不直接接触，克服了接触式的缺点。

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流量控制器在高压条件下如何使用?

质量流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一， 是要选择耐压符合要求的MFC; 二， 是要挑选工作压差范围大的产品型号;  三， 要在MFC气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在MFC下游加背压阀， 稳定反应室和MFC出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。
只要做到以上三点，  MFC就能够在高压条件下稳定工作。

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