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厚礼博精密仪器 热式气体质量流量控制器
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发布时间: 2020-05-27 12:28
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详细信息





质量流量控制器主要参数

质量流量精度: ±0.002×流量±零点漂移

密度测量精度: ±0.003g/cm3

密度测量范围: 0.5~1.5g/cm3

温度测量范围: ±1°C

(2) 传感器相关数据:

环境温度: -40~60°C

介质温度: -50~200°C

防爆类型: iBⅡBT3

关联设备: 配套变送器

(3) 变送器相关数据:

工作温度: 0~60°C

相对湿度: 95%以下

电 源: 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,热式气体质量流量控制器哪里有,40W

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流量控制器的主要优点是什么?

(1)  流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,热式气体质量流量控制器,则一般可以忽略不计。

(2)  测量控制的自动化

 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。
通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~ 5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。

(3)  地定量控制流量

质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

(4)  适用范围宽

有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,热式气体质量流量控制器公司,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。
流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~ (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。

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流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?

质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体,热式气体质量流量控制器报价, 需要恰当选择型号和密封材料。
用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。
金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。
采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
对于三氯化硼等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。

由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。
如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于卤族干燥气体。
其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。
氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;  三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。

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