质量流量控制法的配气装置

SSGM系列的配气装置采用质量流量控制法，经过持续不断的改进和创新，仪器性能及指标进一步提高，具有极高的灵敏度，很高的稳定性和适应力，可适应各种恶劣的工作条件。
配气装置采用质量流量控制法，控制气体的进气量，结合本公司特有的新型计算方法，综合得出的一款全自动配气装置。
质量流量控制装置在制造工艺中对供给的气体的质量流量进行控制等目的而被广泛使用。

质量流量控制装置(质量流量控制器)是至少包括测量流体的流量的流量计、控制流体的流量的流量控制阀、管路保护系统，压力测试装置等硬件部分，通过可编程控制器对流量计和流量控制阀进行控制的控制电路及其他零部件的控制设备。
质量流量是一种保证监测数据准确可靠的方法，也是科学管理实验室和检测系统的有效措施，它可以保证数据质量，使流量的检测和控制建立在可靠的基础之上。

配气装置主要是针对实验室及各种环境下所需要的模拟气体成分。
依据比例自行设置混合输出的装置。
主要重要部件为质量流量控制器，利用其高精度、高准确性的特点，准确控制各个气体组成成分的输入量，经由设计及生产的混气腔室后输出。
配气过程直观，调整便捷，为纯机器结构，使用寿命长，安全和可靠，体积小巧、重量轻，携带和使用方便，可实现双元或多元气体同步混合，混气过程复现性优良，比例稳定。

数字型和模拟型的流量控制器的控制方法

热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。
即利用流体流过发热物体时，质量式流量计多少钱，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。
该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。

它们自动地补偿和校正气体温度变化。
仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。
当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

热式气体质量流量控制器和质量流量计，质量式流量计哪里有，根据它的信号传输模式可以分为：模拟型和数字型两种。
国产的产品中，模拟型分为电压（0-5V或0-10V，质量式流量计价格，每个厂家与厂家之间可能会有稍微的差异）和电流（4-20mA或0-20mA）；数字型的主要还是市场上传统的RS485 modbus协议或RS232 （国外的产品还可选perfnet或是总线方式）。
用户主要是通过采集数据信号，来进行的气体流量的检测，以及设定数据信号值，来达到调节和开启截止阀门的开度，从而控制气体的流量。

气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用

真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。
AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。

热式气体质量流量计

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。
它们自动地补偿和校正气体温度变化。
仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。
当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。

质量流量控制器

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。
并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。
对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，质量式流量计，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。

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