质量流量控制器的使用范围和控制范围有多广泛？

关于气体质量流量计的标准状态，主要是指在标准状况（STP）0℃( 273K)、1.01×10^5Pa下，1摩尔任何理想气体所占的体积都约为22.4升，这个体积叫做该气体的摩尔体积，单位是L/ mol（升/摩尔） ，即标准状况下(STP)气体摩尔体积为 22．4L/mol。
在25℃，1.01×10^5Pa时气体摩尔的体积约24.5L/mol。

采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术，能实现微小流量测量和控制，其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，流量控制器厂家，测量精度高，无需要温度压力补偿，广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

热式气体质量流量控制器和热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。
即利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。
该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

数字型和模拟型的流量控制器的控制方法

热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。
即利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。
该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
热式流量计传感器包含两个传感元件，河南流量控制器，一个速度传感器和一个温度传感器。

它们自动地补偿和校正气体温度变化。
仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。
当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

热式气体质量流量控制器和质量流量计，根据它的信号传输模式可以分为：模拟型和数字型两种。
国产的产品中，模拟型分为电压（0-5V或0-10V，每个厂家与厂家之间可能会有稍微的差异）和电流（4-20mA或0-20mA）；数字型的主要还是市场上传统的RS485 modbus协议或RS232 （国外的产品还可选perfnet或是总线方式）。
用户主要是通过采集数据信号，来进行的气体流量的检测，以及设定数据信号值，流量控制器报价，来达到调节和开启截止阀门的开度，从而控制气体的流量。

流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。
为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，流量控制器价格，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。
传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。
MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。
采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

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